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微测辐射热计是一种基于高性能热敏探测材料的红外探测器件。目前应用于微测辐射热计的高性能热敏探测材料主要是半导体热敏材料,应用比较广泛的主要有氧化钒(VO_x)和非晶硅(a-Si)。近年来,氧化钛(TiO_x)作为一种新型热敏材料在红外器件领域的的应用研究愈发受到关注和开展,其光电性能和关于红外器件的应用前景相比于氧化钒(VO_x)和非晶硅(a-Si)有着自己独特的特点。因此,研究氧化钛热敏薄膜的制备和光电性能对于非制冷红外探测器件具有重要的科研和应用意义。本论文基于半导体材料与薄膜理论,介