【摘 要】
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容性耦合等离子体被广泛地应用于半导体工业中,如薄膜沉积、材料刻蚀以及表面处理等。众所周知,在容性耦合等离子体放电中,较高的频率能够产生较高密度的等离子体和较低能量
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The effective measures to prevent and control spontaneous combustion of coal seam
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