【摘 要】
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摘要：本文提出了一个适合台阶高度测量的大量程高精度双波长光纤干涉在线测量系统。采用光纤布拉格光栅作为光纤内置反射镜,使两束波长不同的激光在同一干涉仪中同时独立干涉,
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摘要：本文提出了一个适合台阶高度测量的大量程高精度双波长光纤干涉在线测量系统。采用光纤布拉格光栅作为光纤内置反射镜,使两束波长不同的激光在同一干涉仪中同时独立干涉,各自的干涉信号同时分别被检测到。处理测量系统检测到的四个干涉信号的相位,可得到干涉仪光程差的变化量,即台阶高度。利用反馈回路补偿环境扰动引起的影响,使系统足够稳定,适合在线测量。采用双波长干涉仪使测量跨度达到亚纳米至大于1mm的合成波半波长；采用光纤迈克尔逊高相干度干涉仪使测量分辨率低于1nm；测量高度1mm的量块,标准偏差为0.6nm。
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