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【摘 要】
:
AB03型钙钛矿结构铁电薄膜由于具有独特的介电、压电、热释电及铁电性能,在很多领域中有着广泛的应用前景。(Pb,Sr)TiO3(PST)铁电薄膜由于具有很好的介电可调性,是当前介电可调薄膜的研究热点之一。然而,对于介电可调薄膜来说,要想获得最大介电调制,必须施加足够高的调制电压来产生高调制电场,但对于电子元器件来说工作电压不宜太高。同时,随着电子器件的微型化和集成化,对介电可调薄膜性能的要求也越来
【作 者】
:
方骏飞
【机 构】
:
浙江大学
【发表日期】
:
2012年03期
【关键词】
:
钛酸锶铅
射频磁控溅射
硅化钛纳米线
化学气相沉积
介电可调
边缘电场
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