国际激烈竞争的关键就是发展超精密加工技术等,发展微电子工业、光学零件、尖端技术和国防科技等都需要精密和超精密加工技术。当代的超精密工程代表的是现代制造业技术的前沿,同时也是明天先进制造技术的基础。光纤接头V型微槽超精密加工机床主要用于微V沟槽、微柱面槽、导光槽、背光模组及划片等的超精密加工。超精密机床的误差预估是一个系统性的精度分析工具,它的研究起源于20世纪80年代,过去几十年来一直有研究者对误差预估的研究方法和理论进行提高和总结。研究光纤接头V型微槽连接器的超精密加工理论和机床的设计制造,可以准确的分析出机床的加工误差。本文以光纤接头V型微槽超精密加工机床为研究对象,对误差预估的研究方法进行分析,得到机床的加工工件形状误差预测值,具体对如下几个方面进行了研究：介绍了国外高性能超精密加工机床的特点,分析了超精密机床误差预估国内外的研究现状,指出了目前超精密机床误差预估方面的研究特点和存在的不足。对超精密机床误差预估的流程图进行详细的介绍和分析,本文创造性的提出了将蒙特卡罗仿真法运用在光纤接头V型微槽超精密加工机床的误差预估上,并详细介绍了整个模拟加工工件形状误差的方法,取得了良好的模拟效果；同时介绍了均方根原则的相关理论,并使用均方根原则法对机床进行了误差预估。根据多体系统理论,对光纤接头V型微槽超精密加工机床进行拓扑结构分析、运动链分析并建立机床的误差模型,使用蒙特卡罗仿真法模拟机床加工工件的形状误差；同时,使用均方根原则模拟机床加工工件的形状误差。使用激光干涉仪实际测得光纤接头V型微槽超精密加工机床的各项几何误差,并将数据进行分析整理得到误差源的取值范围,通过计算机软件进行仿真模拟得到预测的形状误差值。最后得到误差源取值范围的变化对形状误差的影响规律。