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本论文提出一种1×2扭转竖直微镜光开关，微镜采用(110)硅腐蚀制备而成，执行器采用变间隙的电容驱动器，光耦合采用球透镜进行，并制作1×2光开关器件。 直接光纤耦合的微机械光开关损耗较大，但光束准直后再耦合可以降低损耗。本文采用球透镜光纤进行光耦合，仔细分析了影响耦合效率的各种因素。高反射率薄膜是微镜的一个组成部分，对金属薄膜的反射特性进行了计算，金和铝是很好的反射膜镀层，饱和反射率达到97％，膜厚200nm。在入射角不大的情况下，偏振相关的反射率相差很小。