【摘 要】
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利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在45号钢基材上制备出了超硬耐磨TiN薄膜.利用XRD、XPS、AES、SEM等手段分析了薄膜的成份及显微组织结构,并测试了薄膜的纳米硬
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利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在45号钢基材上制备出了超硬耐磨TiN薄膜.利用XRD、XPS、AES、SEM等手段分析了薄膜的成份及显微组织结构,并测试了薄膜的纳米硬度分布及摩擦磨损性能.结果表明:薄膜主要组成相为TiN,薄膜组织致密、均匀,与基材之间存在较宽的混合界面;薄膜硬度高,在干滑动磨损实验条件下具有优异的耐磨性及较低的摩擦系数.利用脉冲高能量密度等离子体在室温条件下在45#钢基材表面上沉积了高硬度耐腐蚀(Ti,Al)N薄膜.利用SEM、XRD、XPS、AES分析了薄膜的显微组织;利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度;测试了薄膜在0.5摩尔/升H<,2>SO<,4>水溶液中的耐蚀性.测试结果表明:薄膜主要组成相为(Ti,Al)N,同时含有少量的AlN;薄膜的纳米硬度高达26GPa;薄膜具有良好的耐蚀性,与1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢相比,耐蚀性提高了一个数量级.利用脉冲高能量密度等离子体在室温条件下在45#钢基材表面上沉积了高硬度、高耐磨WC薄膜.利用SEM、XRD、XPS、AES分析了薄膜的显微组织;利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度;测试了薄膜的摩擦磨损性能.测试结果表明:薄膜主要组成相为WC;薄膜的纳米硬度高达26GPa;薄膜具有优异的摩擦磨损性能.
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