现有ESD测试的共同缺点是它们都是破坏性测试,即这些ESD测试只能提供器件的ESD失效电压,至于在失效之前的一些详细数据并不能给出。而在器件失效之前,对器件失效机理的理解是ESD保护结构设计的关键。基于此种原因,在1985年由T.J.Maloney和N.Khurana提出了TLP(Transmission Line Pluse)理论来测试片上ESD结构的电学特性。TLP技术可以很方便的获得这些有用的信息。　　本文基于TLP理论,利用TDR测量方法设计出一套全新TLP测试系统,本系统软件部分利用LABVIEW开发,便于使用且易于维护,该系统可实时查看测量结果并准确提供器件失效前的详细数据,在每次测试后测量器件的漏电流,以确保器件不会被破坏。相比于其他TLP测试设备,本论文所述的系统能提供更快捷的测试。本系统基于TDR测量方法采用一种新型校正方法,可更准确地校正由于寄生而产生的误差,结合系统其他设备,可在不同室内条件下提供稳定的波形输出。并将测量结果与商用系统对比,通过对比本系统精度可满足测量要求。本文在对TLP理论研究的基础上进一步探究了VF-TLP系统,对比了两者的原理及实现难度,并相应提出一些解决方法,提出了一种电路结构,该电路结构可复用TLP系统的一些设备。最后对所作出的工作进行了总结并对下一步工作提出了一些建议。