在半导体代加工工厂内,新风系统是十分重要的。它为洁净室提供合适温湿度范围内的干净空气,满足了关键设备的净化要求。新风设备全年不间断运行,需要消耗水、电、气等能源。随着生产厂房的不断扩大以及设备的不断增多,新风系统消耗的能源也越来越多。为了节能减排,同时也为公司降低运营成本,因此对新风系统进行节能方法的研究。新风处理是一个复杂的流程,因为它不仅要去除颗粒,而且要控制好空气的温湿度。能量的消耗会根据室外的空气状态和室内新风的使用进行调整。以前新风系统的节能研究是换气次数、设备发热以及空气传输的阻力。现在的研究重点是空调机的效率。不过理论研究远远多于实际操作,实际运行案例是缺乏的。不同的系统间能源的联系也不够紧密。各个公司新风系统的处理流程基本相同。本文从新风机组的运行出发,结合国内外的资料和自身的工作实践,对新风处理流程进行分类,从三方面进行能量使用和损耗的分析,分别是风量,过滤器使用以及温湿度。为了验证节能方法的可行性并找到空调机最佳的运行参数,改变空调机的参数并且比较能量的使用数据。动力系统是一个整体。单个系统的运行会消耗大量的能源,同时会浪费能源。水的比热容很大,也容易通过水实现能量交换。新风系统和冷冻水系统中都有许多水的环节。两者可以通过水进行能源互补,为新风系统找到新的节能方法。本研究较完整的给出改造方案,利用焓湿图、热力学和流体力学公式进行节能计算。然后,通过特定新风系统改造进行可行性分析。最后记录新风机改造前后的运行数据,进行比较并验证改造方案的效果。在冬季,通过冷却水热回收可以降低新风预热环节43.7%的蒸汽使用量。在夏季利用峰谷电价差来降低成本。晚上利用冷冻机对水箱内的水进行制冷,白天释放冷量至预冷环节,可以降低新风系统冷冻水用量20%。冷却盘管处析出的冷凝水回收后送入至冷却塔,通过此改造每天可节约170t的补水水量。通过水喷淋的改造每年可以节约电费10万元。通过本文的研究,可以显著降低新风系统的运行成本,并为今后进一步的节能改造提供理论以及实践上的支持。