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共焦显微术是目前科学研究中非常重要的一项技术.这主要是因为它可以消除由于像面离焦引起的图像模糊,从而可对被测物实现层析成像.目前它在科学技术领域有着非常重要的应用,是生命科学、纳米技术、半导体行业、微机械、材料科学甚至流体检测等领域的重要研究手段或工具.该文就是在此背景下为共焦三维测量的进一步实用化对点扫描激光共焦三维轮廓测量系统进行了系统的基础研究.