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【摘 要】
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近年来由于精密和超精密加工技术的高速发展，出现了许多微型构件，各种复杂表面件，微型电子器件，精密光学元件等零部件，其加工精度在微米和亚微米级别。这就要求检测这些零部件的三
【机 构】
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合肥工业大学
【出 处】
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合肥工业大学
【发表日期】
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2012年期
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