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光干涉测试技术是一种高精度、高灵敏度的计量测试方法。数字波面干涉仪运用移相干涉(PSI)测试技术，同时将光、机、电、算结合在一起，实现了测试的高精度和自动化，广泛应用于各种光学元件的测量。
本文研究了移相干涉的测量原理和波面解包算法。介绍了PSI干涉图像的采集、处理及波面图形绘制软件。本文详细研究了干涉图数据的处理方法，并提出了改进算法，频域处理方法采用低通滤波和高通滤波，空域处理方法采用均值滤波和中值滤波。本文采用上述方法对干涉图像进行处理，实验结果表明上述方法能够有效地改善干涉图像的质量，从而提高干涉测量的精度。