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FeZrBCu磁性薄膜制备与性能研究

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【摘要】

：

Fe-Zr-B-Cu纳米晶合金(NANOPERM)具有优异的软磁性能,饱和磁化强度比Fe-Cu-Nb-Si-B(FINEMET)合金高,且热处理后形成的纳米晶BCCα-Fe比Fe-Cu-Nb-Si-B材料中形成的α-FeSi相简单,因而近年来得到了较为广泛的研究。采用粉末冶金法制备了磁控溅射用FeZrBCu合金靶材,烧结后靶材的成分与设计成分相一致,密度都有了一定程度的提高;随着烧结温度的提高与保

【作者】

：

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2007年03期

【关键词】

：

直流磁控溅射 FeZrBCu非晶薄膜溅射工艺参数退火磁性能

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Fe-Zr-B-Cu纳米晶合金(NANOPERM)具有优异的软磁性能,饱和磁化强度比Fe-Cu-Nb-Si-B(FINEMET)合金高,且热处理后形成的纳米晶BCCα-Fe比Fe-Cu-Nb-Si-B材料中形成的α-FeSi相简单,因而近年来得到了较为广泛的研究。采用粉末冶金法制备了磁控溅射用FeZrBCu合金靶材,烧结后靶材的成分与设计成分相一致,密度都有了一定程度的提高;随着烧结温度的提高与保温时间的延长,靶材的密度与硬度都有所提高;随着溅射时间的增加,靶材的硬度不断增加

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