【摘 要】
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随着市场对蓝宝石晶体材料需求量越来越大,对生长蓝宝石晶体的设备提出了更高的要求。本文在全面分析、比较国内外晶体生长设备和方法的基础上,重点以泡生法生长蓝宝石晶体为研
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随着市场对蓝宝石晶体材料需求量越来越大,对生长蓝宝石晶体的设备提出了更高的要求。本文在全面分析、比较国内外晶体生长设备和方法的基础上,重点以泡生法生长蓝宝石晶体为研究对象。通过对设备称重系统关键器件的设计,精确测定晶体生长的质量变化率即生长率,从而指导晶体的生长达到控径的目的。 论文首先提出了晶体生长时提拉和旋转运动的机械机构。通过对旋转系统和提拉系统运行时的高精度、平稳性的设计要求:对旋转系统控制精度要求不高,采用易于控制、价格相对便宜的步进电机;对提拉系统选用启动力矩大、运行平稳、反应速度快、位置精度准确的交流伺服电机。通过对系统设计要求进行计算,选择合适型号的电机与驱动器,并提出电机速度控制方案。通过对现阶段晶体生长所使用的控径方法进行了详细分析,最终确定了最理想的控径方案—悬臂梁式上称重系统。本课题对该系统机械结构部分进行了详细设计,针对称重方案设计了称重单元电路。通过对传感器选取、A/D转换芯片接口电路设计、系统软件设计,准确测量晶体的质量变化。将称重单元监测得到的重量值输送至系统控制中心,通过算法设计,计算出在单位时间内的生长率。 由于在晶体生长过程中,无法观察晶体实时的生长形态,对晶体的生长状态无法做出肯定的判断。本章基于固液面能量守恒方程,以球状凸界面的生长方式,建立理想的晶体模型。通过对模型各个生长阶段,分析出生长率与晶体生长影响因素之间的关系。进而可以通过对生长率的实时监测,确定加热功率、提拉速度,指导晶体的生长过程。 最后,本文通过实验的方式验证建立的生长模型的正确性。在蓝宝石生长工艺过程中,根据理论数据指导晶体的生长过程。通过实验结果分析,能够生产出满足客户需求的晶锭。因此,确定此方案可行,能够应用到实际蓝宝石晶体的生产过程。根据此方案设计的蓝宝石工艺流程,有效地减少了晶体开裂、直径不满足要求等问题,对蓝宝石晶体的生产具有十分重要的意义。
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