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本文简要对固体电池的发展及与其相关的电极材料和电解质材料进行了一些描述。由于现有液态锂离子电池采用了有机液体电解液，存在着泄露、着火等安全隐患，故试图采用固态电解质代替液体电解质来研究全固态电池，这对于解决电池现有的安全问题具有一定的意义。另外，固态电池的电池结构相对于液态电池来说要简单，尤其是薄膜固态电池，其厚度、尺寸形状均可控制，在微电子器械上的应用越来越广泛。因此，国内外逐渐开始研究固态电池及全固态薄膜电池并取得一定进展。本论文一方面对磁控溅射制备薄膜电极的工艺进行了一系列研究，在不同溅射条件