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【摘 要】
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W-Cu薄膜是典型的互不固溶的难混溶体系合金薄膜,具有高导热、导电性和高强度、低热膨胀系数等优点,在电子封装及扩散阻挡层等方面有广阔的应用前景。因此,研究W-Cu薄膜的组
【发表日期】
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2016年期
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