多铁性薄膜材料是在器件多功能化、集成化、小型化的发展趋势下发展起来的一种新型材料。它因为同时具有两种以上的铁性能，在制作多功能器件、集成器件或机敏(SMAM)器件等方面都有很好的应用前景，近年来得到了广泛的研究。铁酸铋是室温下同时具有铁电和反铁磁性的单相多铁材料，为扭曲的三方钙钛矿结构，具有高的居里温度(830℃)和尼尔温度(370℃)，是近年国际上研究的热点。本文使用溶胶-凝胶方法制备铁酸铋.钛酸铅固溶体薄膜和纯相的铁酸铋薄膜，探讨了铁酸铋基薄膜的化学制备工艺，以及不同的工艺过程对薄膜结构和电性能的影响。 对于铁酸铋-钛酸铅薄膜而言，随退火温度的提高，薄膜的结晶性变好，介电性能在650℃之前逐渐提高，温度继续升高性能下降。因此，高于600℃低于700℃的退火温度有利于降低薄膜的漏电流密度。而当溶胶浓度由0.2M增加到0.4M后，铁酸铋-钛酸铅薄膜的漏电流降低，电性能变好，0.4M薄膜的漏电流密度在300 kV/cm的电场下依然保持在10-5A/cm2的数量级。此外，在常用的上电极材料中，Au比Pt能更为有效地抑制金属-介质界面层的缺陷，形成良好的欧姆接触，从而获得低损耗、绝缘性良好的铁酸铋.钛酸铅薄膜体系。低温测试结果显示，随着温度从-100℃升高到室温，铁酸铋-钛酸铅薄膜的剩余极化逐渐增大。 铁酸铋薄膜随着厚度增加，薄膜结晶性变好，三方相钙钛矿结构更加明显。厚度在400nm以上的薄膜，介电常数随厚度增加而增加，并且薄膜的绝缘性变好。每4层退火的薄膜介电性能好于一次性退火薄膜，且漏电流密度比一次性退火薄膜低约两个数量级。