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微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一。随着科学技术的发展,在电子、光学、生物、制造等众多技术领域中,迫切需要高精度、高分辨力、能够灵活控制的驱动控制及检测系统,用以直接进行有关工作或配合其它仪器设备完成高精度的研究和应用。正是这些需要,极大地促进了位移驱动定位技术的发展。在纳米技术的许多领域,迫切需要大行程高分辨力的驱动定位及检测系统,以实现高精度的定位。课题对角位移驱动定位技术进行了探索。在已有的回转式压电微角度执行器的基础上研究其驱动控制和角