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当前，原子力显微镜(AFM)在微笑电子学、微机械学和新型材料学、电磁学、化学和生物医学以及纳米制造和纳米操作等领域具有广泛的应用。然而，AFM的工作速度和测量精度已经成为AFM技术的瓶颈，主要原因是现有控制技术无法克服AFM工作中工作速度慢和窄带限制的问题。本文从控制的角度出发，重点研究高速AFM定位系统中的控制及补偿方法。论文具体工作如下：首先，深入研究以压电驱动器为核心的AFM定位系统及其控制问题，并指出当前限制AFM工作速度的关键问题：工作速度慢和窄带限制的问题。为解决高速AF