合成孔径雷达干涉测量技术(InSAR)是一种新的空间对地观测技术，它利用合成孔径雷达(SAR)的相位信息来提取地表的地形信息和形变信息。可以监测区域地表面的微小变化，精度可达厘米级甚至毫米级，并且具有连续空间覆盖的特征。相对于传统的遥感测绘方式，合成孔径雷达是一种主动式、高分辨率微波成像传感器。可以实现全天时、全天候对地观测，并且还可以透过地表和植被获取地表以下的信息。不仅是传统测量方法的有效补充，而且开拓了全新的观测方式和应用领域，成为未来三维测图与区域地表形变监测领域最具潜力的新技术之一。 本文主要研究星载重复轨道干涉测量技术的原理、数据处理以及其在地表形变监测中的应用。围绕InSAR和D-InSAR数据处理过程中的关键技术这一主线，对其中的干涉条纹噪声滤波、相位到高程的转换以及利用InsAR技术获取DEM进行区域地表形变监测等内容，进行了深入的探讨。本文的主要研究结果总结如下： (1)总结了国内外使用InSAR技术进行区域地表形变监测的现状。 (2)对InSAR技术的原理进行了阐述，由成像几何导出了InSAR技术的测高原理，并且推导了InSAR技术测量地表形变的数学公式，给出了InSAR技术的数据处理流程。 (3)对干涉条纹的噪声来源、噪声分布模型进行了深入的研究，并对空间域滤波算法和频率域滤波算法进行了总结，最后利用不同的滤波算法进行了滤波实验，并对实验结果进行了对比分析。 (4)研究了相位到高程转换的数学模型，并对现有的转换算法进行了分类，对几种典型的转换算法作了对比分析，指出了不同算法的优缺点。 (5)总结了D-InSAR技术用于地表形变监测的数据处理算法，并采用二轨法和三轨法对实验数据进行了处理。获得了实验区域的数字高程模型。