近年来大气压低温等离子体射流的应用领域越来越广泛，尤其在生物医学领域获得了广泛研究，根据临床应用的需要，精确控制等离子体剂量是低温等离子体射流发展的重要课题。等离子体放电的可重复性是精准控制活性成分剂量的关键，所以研究射流可重复性具有非常重要的意义。脉冲直流激励的等离子体射流与传统的交流或直流驱动相比，有如下特点：首先一个脉冲周期中，电子可以在脉冲上升沿及下降沿获得更高的能量，更易电离气体；其次多次脉冲预电离过程中，可以通过背景电离积累种子电子，因此脉冲激励所需要的击穿电压小于高压直流激励；再次，在高重频脉冲电源驱动下，存在临界频率，高于该临界频率时，放电处于可重复状态，低于临界频率时，放电处于混沌状态。等离子体射流重复性的研究指在高重频脉冲激励条件下，各周期内放电是否具有可重复特性。　　本文首先探究了电压幅值、脉宽、脉冲上升时间对等离子体放电重复性的影响；其次精确控制气体组分，研究了不同氮气掺量、不同氧气掺量对等离子体射流放电重复性的影响；最后利用真空放电系统，研究了低气压条件下氮气、空气等离子体的临界频率，计算维持可重复放电条件最低种子电荷密度。得到了以下4点结论：　　（1）脉冲激励等离子体射流在特定频率、脉宽条件下，存在维持放电的最小电压值，即维持电压。维持电压与放电过程中产生关键作用的带电粒子、活性粒子的生命周期有关，维持电压对射流重复性具有重要影响。　　（2）临界频率受到电压幅值、脉宽以及脉冲上升时间的影响。电压幅值越小，临界频率越大；脉宽对临界频率的影响较复杂：在电压为8kV、6kV时，脉宽越大临界频率越小，而当电压为4kV、3kV时，脉宽越小临界频率越大。工作气体为He条件下，当电压幅值较高时，改变脉冲上升时间，临界频率基本不变；当电压降低为5kV时，脉冲上升时间变大，临界频率迅速增大5倍左右；Ar作为工作气体时，增加上升时间后放电重复性较差，临界频率大于9.5kHz，放电呈现为不稳定放电模式，无法更为精确地界定临界频率的范围。　　（3）氦氮混合气体放电时，临界频率大于相同条件下He等离子体射流放电的临界频率，且随电压幅值的增大而减小；改变脉宽时，变化趁势基本一致。氦氮混合气体放电时，临界频率大于He等离子体射流，且临界频率随电压幅值的增大而减小；改变脉宽时，变化趁势基本一致。氦氧混合气体放电时，相同条件下，氦氧混合气体放电延时小于氦气放电延时；另外，随着氧掺量的增大，临界频率增大。　　（4）低气压条件下氮气、氧气、空气放电同样存在由随机到可重复放电模式的转化现象，即存在临界频率，当脉冲频率大于临界频率时放电处于可重复状态，小于临界频率时放电处于随机状态。在低气压条件下，电压幅值对临界频率有影响，脉冲宽度对放电重复性没有影响。这一研究结果为背景电离在放电过程中的作用提供了新的支持。通过零维电荷衰减模型计算得到，电压5kV、1kPa条件下重复性要求的最低种子电子密度约为107cm-3数量级；电压5kV、3kPa条件下重复性要求的最低种子电子密度在108cm-3~109cm-3之间。