【摘 要】
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我们把微机械器件中常见的静电驱动以及空气阻尼问题作为微机械动力学研究的重点,进行了研究和分析.该论文在静电驱动部分对平行板的阶跃响应、静电吸合以及驱动信号对电容式
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我们把微机械器件中常见的静电驱动以及空气阻尼问题作为微机械动力学研究的重点,进行了研究和分析.该论文在静电驱动部分对平行板的阶跃响应、静电吸合以及驱动信号对电容式传感器的影响等问题都进行了详细的分析和推导.在对稀薄空气阻尼的研究中,论文先介绍了一个沿用多年的Christian模型,阐明了其物理意义.通过论证,指出国内外学者针对这一模型进行的某些修正是不合理的.由于Christian模型考虑的是孤立平板所受的空气阻尼,没有考虑平板附近物体的影响,理论与实验结果相差较大.为此,论文提出了一个新的稀薄空气阻尼模型.
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