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本文从理论上和实验上研究了基于FIB-SIT的三维纳米加工工艺方法及机理：运用有序的FIB应力引入(即表面浅刻蚀)阵列，能够灵活地控制纳米级厚度悬臂结构表面的应力分布，从而在纳米尺度控制其离面弯曲。文章应用这种工艺方法成功实现了三维纳米组装和三维纳米螺旋结构加工，包括演示了一个框架宽度为600nm的三维立方体框架的组装过程，制备出了单端固支、双端固支等多种三维纳米螺旋结构，还给出了控制螺旋结构结构参数的方法等。这些工作充分展示了FIB-SIT的高度可控性、可重复性及灵活性。