激光技术在现代科学实验,医学治疗,光刻以及国防等领域得到了极其广泛的应用。在用于集成电路光刻的大功率准分子激光光源中,采用了MOPA双腔结构,要求出光时间精确,因此对同步系统提出了更高的要求,对其进行研究与改进有着重要的现实意义。　　 本论文摒弃了一般的单片机技术,采用CPLD技术,实现了片上系统功能,即SoC。本论文阐述实现时间同步的思想,将系统分成基本的线性数字延迟线,双路脉冲检测,信号反馈控制三个部分。因为使用了片上系统,将大部分的功能集中在一片CPLD中实现,体积小,重量轻,大大减少了外围的元器件,不仪提高了系统的可靠性,而且降低了成本。我们使用基本的硬件描述语言VHDL以及原理图方式来编写系统程序,同时利用多种软件和硬件技术来提高和改善系统的抗干扰能力,实现了同步误差小于5ns的性能要求。　　 经实际使用验证,该仪器取得了令人满意的结果,能够满足时间同步的要求。