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来源 :浙江大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
跨入21世纪随着平板显示技术(FPD)飞速发展,需要更低电阻率的材料作为FPD薄膜晶体管的接触电极,以提高响应速率、降低功耗。传统的场致发射平板显示器(FED)的微尖锥场发射体制作
【作 者】
:
郝鹏
【机 构】
:
浙江大学
【出 处】
:
浙江大学
【发表日期】
:
2006年期
【关键词】
:
APCVD
硅化钛
薄膜
晶相形成
纳米线
生长机理
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