【摘 要】
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该文对利用聚焦离子束分解(CH)CHPt(Ch)气体分子淀积Pt薄膜的过程和淀积的薄膜的性质进行了研究,并对该薄膜的淀积速率、淀积产额、电阻率和组分与淀积过程所使用的离子束流
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该文对利用聚焦离子束分解(C<,5>H<,4>)CH<,3>Pt(Ch<,3>)<,3>气体分子淀积Pt薄膜的过程和淀积的薄膜的性质进行了研究,并对该薄膜的淀积速率、淀积产额、电阻率和组分与淀积过程所使用的离子束流大小的关系进行了大量实验和分析.结果表明:随着离子束流的增加,淀积速率明显增加,而淀积产额和Pt薄膜的电阻率有所下降;同时利用EDX技术研究表明,该薄膜物质不是仅仅由铂原子组成,而是含有大量的碳元素和少量的镓元素,并且随着淀积时所用的离子束流的增大,碳元素的比例有所下降,铂元素的比例上升,这也和该薄膜电阻率的减小趋势符合.
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