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随着薄膜及薄膜器件在科研和实际应用中的普及，精确及快速测量薄膜光学参数变得越来越重要。本文综述国内外测量薄膜光学参数的主要方法及其特点，详细、系统地介绍了偏振光反射法测量薄膜厚度及折射率的基本原理；在分析偏振光反射三点拟合算法的基础上，采用多点拟合算法，实现对单层透明薄膜的数值反演；实验及反演表明：多点法较三点法有较高的反演精度；另外，搭建了测量薄膜样品厚度和折射率的实验系统，并对系统器件的选择进行了分析，给出了薄膜的测量结果。对单层透明膜的实际测量及反演表明：厚度及折射率反演的最大相对误差分别为2.5％和1.4％。