【摘 要】
：
该实验采用改进的常压化学气相沉积(APCVD)方法,以SiH-NH-N系统为主,在低于平板玻璃软化点的温度下在玻璃基板上制备氮氧化硅薄膜,并运用SEM、FTIR、紫外-可见分光光度计、XR
论文部分内容阅读
该实验采用改进的常压化学气相沉积(APCVD)方法,以SiH<,4>-NH<,3>-N<,2>系统为主,在低于平板玻璃软化点的温度下在玻璃基板上制备氮氧化硅薄膜,并运用SEM、FTIR、紫外-可见分光光度计、XRD、TEM等测试技术,详细地研究了氮氧化硅薄膜的结构、成份和性能之间的关系,以及反应气体比例、基板温度气体流量等影响薄膜性能的各种因素.实验还探讨节氮氧化硅薄膜的形成基理及影响沉积速率的因素,发现氮氧化硅薄膜为三维成核,沉积速率与温度气体流量之间有密切关系.
其他文献
环境容载力由海热提博士（本文指导老师）首次提出，这一概念将环境容量与环境承载力两个概念有机地结合起来，通过这一纽带和中介可以联系区域社会经济活动与生态环境，反映区域社会经
该文用金相显微镜、扫描电子显微镜、量热示差热分析仪、电阻-温度测试仪、x-ray衍射仪等多种分析和测试手段,研究了复合添加Ti、混合稀土,及添加高含量混合稀土、B、P对CuZn
目的:探讨延续性护理对肺癌化疗后癌性疲乏与生活质量的影响.方法:选取2018年1月～2019年12月本院接收的70例肺癌放疗患者,根据双模拟法分为两组,各35例;对照组与观察组分别开
目的:分析在医院感染预防工作中,护理管理的实施效果.方法:择取我院2018年1月～2019年12月期间住院治疗的124例患者为对象,将入组对象随机均分成对照组(62例)和实验组(62例),对