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精确测量航空发动机的涡轮叶片等热端部件表面温度及分布对发动机的设计研发及性能验证至关重要。薄膜热电偶是采用薄膜沉积技术将热电偶材料直接沉积并图形化于叶片表面,其具有体积小、对流场无干扰、测试精度高和响应快等优点。ITO和In_2O_3均为宽禁带导电氧化物半导体材料,由它们构成的ITO/In_2O_3薄膜热电偶不但具有耐高温和抗氧化的特性,而且具有较大的赛贝克系数,在超高温测试领域优势明显。本文针对发动机涡轮叶片表面测温的需求,开展了ITO/In_2O_3薄膜热电偶制备工艺及热电性能方面的研究,重点研