本文对高功率激光薄膜的损伤研究进行了总结.第一章的综述部分对激光损伤机理和实验研究中的基本问题进行了概括.经过几十年的研究,仍然困扰激光损伤研究人员的主要有两个问题:首先是损伤机理问题.尽管人们提出了多种损伤机理模型,如雪崩离化、多光子吸收、杂质吸收和节瘤缺陷等,但是对于光学薄膜复杂的损伤行为仍然不能给出完美的解释.其次是对于不同的激光输出特性,如不同的脉宽、重复频率、光斑大小和波长,存在着不同的损伤规律.第二章介绍了损伤研究的实验方法,重点介绍了作者所在课题组在激光损伤测量和表面热透镜技术弱吸收测量方面的最新进展.第三章研究了三种不同激光薄膜的损伤特性.发现减反射膜的激光损伤特性与基底和膜层界面处的缺陷有关;高反射膜的激光损伤则起源于强场区的缺陷;干涉滤光片的损伤阈值与激光波长相对于滤光片通带中心波长的位置有关,而且其损伤源于干涉滤光片谐振腔内发生的共振吸收.根据上述三种不同激光薄膜的损伤特性研究,可以得出:缺陷是膜层内最薄弱的环节,并且成为导致激光损伤的起始源.在第四章第一节,本文基于球形吸收杂质提出一个缺陷损伤模型,引入散射系数简化了缺陷模型.模拟的结果认为非常有必要对缺陷的结构、大小和分布情况进行探测和有效的控制.在第4.2节,本文研究了不同激光输出模式下的损伤机制转化规律.第4.3节的研究表明紫外波长范围内的激光损伤与可见光和近红外波段明显不同.在今后一定的时期内,由于工艺的局限性,束缚光学薄膜的抗激光损伤能力的最主要因素还是缺陷,所以,控制缺陷将是提高激光损伤阈值的主要途径.第五章提出了几种行之有效的提高激光损伤阈值的方法.例如,改进基底清洗工艺,提高工艺控制水平,镀制保护层,膜系的温度场优化设计和激光预处理技术的应用等.