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本文用掺杂度较高的(ρ=1.5×10-1 Ω cm或ρ=1.5×10-2 Ω cm)、取向为（111）的P型原始硅片水热腐蚀制备了铁钝化多孔硅（iron-passivated porous silicon，缩写IPS），采用磁控溅射真空镀膜技术在IPS上镀Al膜，然后进行350℃退火处理，制成了IPS湿敏元件。另外，采用微乳-水热法制备了纯度高、粒径均匀的Fe3O4纳米粉，进一步制备了IPS／Fe3O4复合材料，并且制成了IPS／Fe3O4湿敏元件。 研究了IPS和IPS／Fe3O4的表面形貌、结构，通过不断优化制备条件(如，原始硅片的参数、腐蚀液中HF酸浓度和Fe3+浓度、水热处理的温度和时间等)找到了制备具有最佳表面形貌和最佳感湿性能IPS样品的水热腐蚀条件，并发现复合材料IPS／Fe3O4继承了IPS的形貌、结构特点。 重点研究了以IPS为感湿材料制成的湿敏元件的感湿特性，并与传统的电化学阳极腐蚀法制备的多孔硅（PS）的感湿性能进行比较。实验结果表明，IPS湿敏元件具有灵敏度高、响应快、重复性好、感湿范围宽的特点。另外，研究了以IPS为模板材料的复合式湿敏材料IPS／Fe3O4的感湿性能，发现IPS／Fe3O4湿敏元件同样具备IPS湿敏元件的特点，并且其感湿特征量相对于IPS湿敏元件有了很大的提高。由此推断，一方面，复合材料IPS／Fe3O4和IPS感湿性能的相似性在很大程度上取决于它们形貌上的相似性，另一方面，纳米Fe3O4的感湿性能在IPS这个模板材料上得以充分的发挥，这正是目前研究开发新型的复合材料成为传感器敏感材料研究的热点之一的原因所在。 探讨了IPS湿敏元件的感湿机理，建立了湿敏电容感湿模型和湿敏元件的等效电路。从理论上分析了IPS湿敏元件的感湿特性，解释并验证了实验结果的正确性和可靠性，为IPS湿敏元件用于检测湿度的可行性提供了理论依据。 本实验制得的湿敏元件与国内外同类元件相比，具有灵敏度高，响应快，测试范围宽等优点。通过工艺条件的进一步改进以及湿度标定系统和信号检出系统进行配套设计与优化，可望开发出性能优异的湿度敏感元件。