CIGS薄膜太阳电池以高效率、无衰退等优点，被认为是最有前途的光伏器件之一。采用电沉积的方法制备CIGS薄膜能够降低成本，提高原料的利用率，适合大面积工业化产，是当今光伏领域研究的热点之一。　　 本论文通过霍尔槽实验对电镀Ga溶液进行了研究，并依次在Mo/玻璃衬底上电沉积金属Cu、In和Ga，制备了符合化学计量比的CuInGa金属预置层。对预置层采用合金化处理，提高了电镀金属预置层制备的CIS/CIGS薄膜与衬底结合力。对200℃和400℃下合金化与硒化结果进行了研究，发现200℃合金化的金属薄膜表面更平整，最终制备的电池效率更高。　　 本论文研究了电镀金属预置层的方法制备CIS/CIGS薄膜中掺锑(Sb)的作用，发现Sb能够促进CIS薄膜的生长，在低温的情况更明显。由于特殊的生长机理，Sb能促进CIGS薄膜中CIS在低温下的优先生长而加剧CIS和CGS的两相分离。　　 本论文对电镀金属预置层后硒化制备的CIS/CIGS器件及RTP处理后的器件进行了研究，发现RTP能够提高晶粒尺寸。CIS薄膜电池转换效率达到了8.17％，CIGS薄膜电池效率达到了8.89%。