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微电子器件微小型化的同时,功耗也逐渐降低至微纳瓦量级。以这些低功耗器件组成的系统,其功耗大约仅在毫瓦量级。这样,使这些器件利用它们周围环境中的各种形式的能量实现自供能已从设想成为必然的趋势。本文利用了ANSYS有限元分析软件,在尺寸上对悬臂梁型压电振子做了优化,还对双悬臂梁和三悬臂梁结构的压电振子进行了模态分析和谐响应分析并进行了实验研究,实验结果证明了双悬臂梁和三悬臂梁结构的压电振子比起单悬臂梁型压电振子,可以在较宽的频率范围内更好的收集能量。最后搭建了能量收集接口电路,与压电振子组成了完整的能量