近几年来,如何通过低成本的制备工艺来合成纳米有序结构材料成为了科研热点。多孔阳极氧化铝具有良好的自成形纳米结构,利用阳极氧化铝膜的纳米级有序孔,采用压印的方式,获得具备纳米结构的材料成为了相关领域的研究热点。但是铝膜的整个制备过程需要持续数小时,实验人员需时刻关注制备状态,投入的时间精力较大。因此,设计一台能制备大面积高质量多孔阳极氧化铝膜的设备,并设计控制软件实现自动化制备、精细化调控尺寸是十分有必要的。本文从研究多孔氧化铝膜的形成机理出发,根据制备工艺设计满足制备要求的具有创新性的低成本制造设备,并开发相关的控制软件,创新性地实现了大面积多孔阳极氧化铝膜的规范化、精细化自动制备。分析了国内外多孔氧化铝薄膜制备的研究现状,阐述了关键工艺的重要指标及影响因素,确定了适用于本系统的工艺流程及方案。根据制备工艺流程,分析出所需制备仪器,通过实际使用效果筛选出合适的实验腔体、低温环境营造模块、以及设备外壳的整体设计。设计实验仪器数据传输指令,实现了实验仪器与电脑主机的数据互通。之后使用Visual Basic开发工具开发了对电脑系统具有兼容性的基本控制程序。为提高程序的拓展性,使用java语言开发了信息管理系统作为控制软件的补充,使控制软件的拓展性和可维护性进一步提高。最后对整套设备的工作性能及控制软件的稳定性进行了测试。实际测试显示控制软件能控制整个实验的流程,形貌表征图像显示制备的大孔径、大面积阳极氧化铝膜具有排列规则的纳米孔结构,实验结果表明整套设备达到了设计预期,实现了国内外4英寸大面积多孔阳极氧化铝膜的率先制备,并且可以在50-500nm之间精细化地调控纳米孔尺寸。