【摘 要】
：
该文以Si基非破坏性读出铁电存储器的制备与特性研究为目的,通过制备高质量Si基铁电薄膜,在研究MFS(Metal-Ferroelectric-Semiconductor)结构异质结构特性的基础上,结合半导
论文部分内容阅读
该文以Si基非破坏性读出铁电存储器的制备与特性研究为目的,通过制备高质量Si基铁电薄膜,在研究MFS(Metal-Ferroelectric-Semiconductor)结构异质结构特性的基础上,结合半导体平面工艺,成功制备了具有一定存储特性的Ag/BIT(Bi<,4>Ti<,3>O<,12>)栅FFET(FerroelectricFiesdEffectTransistor),并对其特性进行了研究.主要研究内容如下:1、采用Sol-Gel工艺,分别在Pt/Ti/SiO<,2>/Si及Si两种衬底上制备了BIT铁电薄膜.2、对不同衬底上BIT薄膜的铁电性能及其差异进行了测试与深入分析.3、研究了PZT/BIT/p-Si(PZT:Pb(Zr<,0.52>Ti<,0.48>)O<,3>)异质结的铁电性能、疲劳特性、I-V特性、C-V特性.4、对Au/PZT/BIT/p-Si异质结的可靠性进行了研究.测试包括疲劳、电容保持特性、环境温主及光辐照对二极管性能的影响.5、从器件应用的特殊性出发,对Ag/BIT栅FFET进行了结构设计和制备工艺设计:小电极、宽沟道、沟道宽长比约1:1.6、研究了Ag/BTI/p-Si栅FFET的输出特性和转移特性.7、研究了Ag/BIT/p-Si栅FFET的存储性及保持特性.
其他文献
人生中往往最美好的感觉,是身不由己的感动和发自内心的愉悦,作为一个画家,能够画自己喜欢的画,选择合乎自我内在的心灵感应,或许就是一种自在的人生吧!李晨作为国内具有代表
亚波长结构系指尺寸小于作用光波波长的周期结构,其基本特点是光波作用于这种尺寸足够小的结构时仅有零级的反射和透射衍射存在,结构的性质类似于一均匀媒质.该文从理论和实
脂类的代谢和运输故障与人类疾病的发生息息相关。阿朴脂蛋白是脂蛋白的主要成分并调控着脂类的运输和代谢。对鱼类而言,卵黄物质的分解和吸收与胚胎发育息息相关,但是阿朴脂
1．GPS(全球定位系统)是一种以空间卫星为基础的无线电导航与定位系统，利用空间卫星播发的导航信息，为世界上任何地方的用户提供全天候、连续不断的、定时的三维坐标、三维速度和
该论文的立题,是为了配合天津市科委的重点项目"军民两用头盔显示器",进行液晶微型显示视频系统的开发.该系统由模拟视频信号处理电路、数字视频信号处理电路和LCD屏组成.该
机器人运动规划问题是机器人领域中最基本、最重要的课题之一。一般将机器人运动规划分为空间路径规划和轨迹规划两部分。空间路径规划是，当机器人在实体空间里完成一定任务时
作为一种真实状态,山水是如何从复杂的自然属性转换为抽象的、更为复杂的精神属性的呢?自魏晋南北朝以来,自然山水就成为中国艺术家创作生命中最重要的选题,彼时的艺术家把山
21世纪是信息化的时代,大量的信息都通过无线的接入方式进行传播。在这种情况下,无线通信系统技术也必须随之发展来适应社会的需求。从1983年在美国出现的第一代无线通信系统
整篇论文是建立在横向电场和纵向电场的二维解析模型的基础上的.在电场建模过程中,认真考虑了电场的横向分量和纵向分量的相互调制作用,从而获得二维电场的解析模型,这是该论
对于现今许多“80后”“90后”的年轻人来说,不仅上山下乡那段历史过于久远,如同被岁月蹉跎掉了色彩的老相册忘在角落无人问津,就是“上山下乡”这四个字本身也显得平淡无奇.