AlN薄膜生长与X-射线探测研究

来源 :中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） | 被引量 : 0次 | 上传用户：yusijin11

【摘要】

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【作者】

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王新建

【出处】

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中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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AlN 直流反应磁控溅射 LP-MOVPE 热扩散 X-射线探测

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