Al2O3薄膜的低温沉积和Al2O3-Si界面特性研究、硫系玻璃薄膜的制备和表征

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【摘要】

：

本论文分为两部分,一是在激光和等离子体特性研究的基础上进行激光和等离子体的应用探索,利用基于电子回旋共振(electron cyclotron resonance,ECR)微波放电和脉冲激光烧蚀(pulsed laser ablation,PLA)联合作用的薄膜沉积方法,尝试制备了氧化铝(Al_O_3)薄膜材料。通过材料的制备和样品的分析表征,探讨了其中微波放电和激光烧蚀联合作用以及由此引发的等离

【作者】

：

俞丹

【机构】

：

复旦大学

【发表日期】

：

2008年04期

【关键词】

：

氧化铝薄膜界面硫系玻璃薄膜脉冲激光烧蚀和沉积电子回旋共振微波放电等离子体辅助沉积

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