AFM动态电场诱导氧化加工及其电流检测

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【摘要】

：

纳米加工技术是构建新一代纳米电子器件的重要基础技术。而基于扫描探针显微镜(SPM)的纳米加工技术是迄今为止最为简单的一种纳米加工技术。其中,利用原子力显微镜(AFM)的电场诱导氧化加工具有可控性好,稳定性高,生成氧化物的绝缘性和抗刻蚀性与微电子工艺相容等优点,因此被普遍认为是一种非常有发展前途的纳米加工技术。当前许多发达国家已经对这一方向投入了大量的研究工作,国内在这方面也取得了一定的成果,但是还

【作者】

：

黄毛毛

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

原子力显微镜动态电场纳米加工电流分析轻敲模式

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