【摘 要】
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该文对大直径CZSi单晶炉进行了改造,改传统的热系统为以矮加热器为主的复合式热系统,并设置了合理的导流系统.改造后,化料时双加热器同时加热,大大缩短了熔硅时间,降低了杂质
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该文对大直径CZSi单晶炉进行了改造,改传统的热系统为以矮加热器为主的复合式热系统,并设置了合理的导流系统.改造后,化料时双加热器同时加热,大大缩短了熔硅时间,降低了杂质掺入的几率.拉晶时以矮加热器为主进行工作,降低了熔体的纵向温度梯度,最大限度的抑制了熔体的热对流,减少了氧的引入.配置合理的导流系统进一步降低了氧碳杂质的引入,提高了晶体拉速.改造后硅单晶原生缺陷密度也有所下降.该文为对改造后氧碳含量下降的机理进行探讨,我们应用有很元法对单晶炉的热场以及氩气流场进行了数值模拟计算.从而更加直观的对其机理进行了定量的分析.
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