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【摘 要】
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光刻胶是一种具有光敏性的薄膜材料，它是光电信息产业中微细加工技术的关键性基础材料。通常光刻胶由成膜树脂、光致产酸剂、溶剂和一些添加剂组成。光刻胶的配置过程繁杂，且光
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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东南大学
【发表日期】
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2012年期
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