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基于肖特基二极管次谐波混频技术的超外差接收机在国外已经开始应用于毫米波/THz频段的通信、雷达和天文观测等领域。国内毫米波/THz变频器件的研制受限于设计理论和实现条件,却仍在起步和探索阶段,本文在此背景下开展了140GHz变频技术的研究。 通过对非线性混频理论、肖特基二极管建模、器件仿真设计和关键实现技术的研究,本文分别研制了构建140GHz发射机/接收机所需的三大变频组件:基于肖特基二极管的140GHz二次谐波混频器、140GHz三倍频器和基于MEMS工艺的140GHz波导带通滤波器,实现了140GHz变频技术。实测结果显示:所研制的变频组件实现了预期功能,部分指标达到国际先进水平,并在建模和工艺研究方面做出新的探索。 研究成果可用于进一步指导后续毫米波/THz系统、关键部组件的设计。