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随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展,微传感器、微执行器已经被应用于一些工业领域。MEMS惯性开关作为振动传感器和微加速度计,在玩具、配件、军事武器和工业领域有着很大的应用潜力。因此,其加工制作方法越来越受到人们的关注。本文在研究基于UV-LIGA技术的MEMS惯性开关制作工艺技术的基础上,制作了具有6层结构的MEMS万向惯性开关。本文的研究成果对MEMS惯性开关制作的研究和发展具有借鉴意义。首先,基于现有的MEMS惯性开关制作工艺,本文确定了结合UV-LIGA技术制作MEMS万向惯性开关的方