【摘 要】
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该文研究用于微表面三维形貌测量的Mirau白光相移干涉系统.闭环控制的压电陶瓷传感器(PZT)带动干涉物镜在光轴方向步进式移动,以得到多幅相移干涉图.该文完成了Mirau干涉物镜
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该文研究用于微表面三维形貌测量的Mirau白光相移干涉系统.闭环控制的压电陶瓷传感器(PZT)带动干涉物镜在光轴方向步进式移动,以得到多幅相移干涉图.该文完成了Mirau干涉物镜的光学结构设计和像差校正,照明光路设计和光能计算.给出了Mirau白光相移干涉结构,分析了相移测量,讨论了景深,分辨率,相干长度等光学性能,分析了误差和光源的谱宽对干涉的影响.最后介绍了Mirau白光相移干涉系统在光纤连接器端面检测上的应用.
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