随着科技水平的快速发展,精密加工领域的各项要求越来越严格,对于加工精度的要求越来越高。精密加工的精度很大程度上取决于其装备的精密微定位平台的性能及精度。因此,对精密微定位平台的不断研究对于提高精密加工制造的性能起着非常重要的作用。本文研究了音圈电机驱动的二自由度柔性微定位平台,分析了其承载能力、静态特性及动态特性,研究了其系统辨识和控制方案。基于有限元软件仿真和实验两种方法分析了其静态和动态性能,考察了其承载能力等特性。在对微定位平台进行系统辨识研究时,考虑到系统是复杂的非线性系统,所以采用了适用于非线性系统辨识的BP神经网路辨识方法,而为了克服神经网络对非线性系统建模辨识时存在的一些缺陷,如局部极小值与收敛速度慢,采用遗传算法优化的神经网络模型对系统进行了辨识。在对系统的逆模型进行神经网络模型辨识之后,利用辨识所得的系统神经网络逆模型进行了神经网络PID复合逆控制。最后通过基于MATLAB/Simulink的仿真及基于dSPACE的试验对辨识方法及控制方法进行了验证,证明了遗传算法优化的神经网络辨识方法与神经网络PID复合逆控制方法的可行性与优越性。