【摘 要】
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本文以等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,利用高功率脉冲技术、恒流双极脉冲技术和液相碳源制备了纳米结构的类金刚石薄膜。考察了各种工艺参数对薄膜纳米结构的影响,探讨了薄膜纳米结构与其机械性能、摩擦学和表面特性之间的相关性。通过选择合适的参数制备系列纳米结构类金刚石薄膜。讨论了纳米结构薄膜力学性能的产生机制。同时考察了特殊纳米结构在薄膜摩擦过程中的结构演化,并进一步讨论了纳米结构对摩擦学性能的
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本文以等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,利用高功率脉冲技术、恒流双极脉冲技术和液相碳源制备了纳米结构的类金刚石薄膜。考察了各种工艺参数对薄膜纳米结构的影响,探讨了薄膜纳米结构与其机械性能、摩擦学和表面特性之间的相关性。通过选择合适的参数制备系列纳米结构类金刚石薄膜。讨论了纳米结构薄膜力学性能的产生机制。同时考察了特殊纳米结构在薄膜摩擦过程中的结构演化,并进一步讨论了纳米结构对摩擦学性能的贡献机理。主要研究结果如下：1.利用高功率PECVD制备了一类指纹状纳米结构类金刚石薄膜,考察了
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