【摘 要】
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该文论述c-BN由于它的强硬度、高绝缘、高热导率以及良好的高温化学稳定性等优异的物理化学性能而成为近年来功能薄膜材料研究的一个热点.在该工作中,利用热丝辅助射频辉光放
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该文论述c-BN由于它的强硬度、高绝缘、高热导率以及良好的高温化学稳定性等优异的物理化学性能而成为近年来功能薄膜材料研究的一个热点.在该工作中,利用热丝辅助射频辉光放电等离子体CVD法在多种衬底上生长出高质量的c-BN薄膜.利用X-射线衍射、Raman散射、红外透射等测试研究了c-BN在不同衬底上的生长特性.介绍了离子束辅助PVD制备c-BN薄膜的生长机理,对热丝辅助射频辉光放电等离子体CVD法制备c-BN的生长机理也进行了初步探讨.实验结果表明,灯丝温度、衬底温度、反应气体压力、反应气体比值等沉积条件对c-BN生长均有很大影响.发现c-BN与Si衬底之间有一层Si<,3>N<,4>过渡层.不同衬底对c-BN薄膜的成核、过渡层的结构与成分、薄膜中h-BN的含量、薄膜中的内应力以及薄膜衍射峰的位置均有影响.
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