【摘 要】
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失配位错是薄膜科学研究的重点内容之一，其主要形成于原子沉积生长过程中，现有的实验分析手段的空间和时间分辨能力都无法达到对原子尺度微观过程的研究。本文采用三维分子动力学模拟方法，以面心立方金属铝为研究对象，采用EAM多体势函数计算原子间相互作用力，对外延铝薄膜中失配位错形成的一些影响因素进行了原子模拟研究。研究内容包括：外延生长薄膜的分子动力学模型、模拟方法的建立及其相应参数的选择；沉积原子入射位置
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失配位错是薄膜科学研究的重点内容之一，其主要形成于原子沉积生长过程中，现有的实验分析手段的空间和时间分辨能力都无法达到对原子尺度微观过程的研究。本文采用三维分子动力学模拟方法，以面心立方金属铝为研究对象，采用EAM多体势函数计算原子间相互作用力，对外延铝薄膜中失配位错形成的一些影响因素进行了原子模拟研究。研究内容包括：外延生长薄膜的分子动力学模型、模拟方法的建立及其相应参数的选择；沉积原子入射位置对外延薄膜失配位错形成的诱发作用；沉积原子入射动能对外延生长薄膜中失配位错形成的影响。研究发现：
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