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该文通过对准分子激光微加工光路系统的研究,对已有的准分子激光微加工光路系统进行了改进.为了检验经过改进的系统的实验微加工状况,就利用光路系统对PMMA和有机玻璃两种材料进行了微加工实验以检验系统的可用性.通过对微型齿轮和微孔两种典型形状的微加工工艺实验,研究了激光脉冲能量、激光脉冲重复频率、激光脉冲数等激光参数对最终加工效果的影响.并针对微加工质量检验困难的问题,提出了利用显微拉曼光谱法来检验微加工结果的材料的性质变化.并通过对我们加工的PMMA材料和有机玻璃材料两种材料的结果显微拉曼光谱法检验结果,验证了此种方法的有效性.