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【摘 要】
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化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)是利用气态物质在高温下裂解和反应，生成固态沉积物的过程。对于烃类催化热解，通过控制碳源、反应温度、载气种类和流速、体系压力
【机 构】
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中国科学院山西煤炭化学研究所
【出 处】
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中国科学院山西煤炭化学研究所
【发表日期】
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2009年期
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