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【摘 要】
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该文对现代激光干涉仪的特点和发展方向作了总结——共路干涉、移相(条纹扫描)及计算机条纹自动处理,较系统地论述了利用激光双焦偏振干涉系统测量表面微观轮廓的技术.论文从
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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浙江大学
【发表日期】
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2001年期
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